技術(shù)參數(shù):
1) 最大掃描速率:100Hz/line
2)測(cè)試模式:接觸模式、非接觸模式、輕敲模式
3) 掃描范圍:100*100*15 μm（X*Y*Z）
4) 最大共振頻率:3Mhz
5) 鏡頭：10X,最大視野360*480 μm
6) 最大樣品測(cè)試尺寸：200*200*20mm（X*Y*Z）
技術(shù)參數(shù):
1) 最大掃描速率:100Hz/line
2)測(cè)試模式:接觸模式、非接觸模式、輕敲模式
3) 掃描范圍:100*100*15 μm（X*Y*Z）
4) 最大共振頻率:3Mhz
5) 鏡頭：10X,最大視野360*480 μm
6) 最大樣品測(cè)試尺寸：200*200*20mm（X*Y*Z）