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技術(shù)參數(shù):

1)測試模式: MOS、Schottky

2)樣品尺寸:直徑≤200mm，非標(biāo)樣品或者碎片最小測試尺寸30mm X 30mm

3)外延層載流子濃度測試范圍:1E14-5E18 cm^-3

4)單點(diǎn)測試面積:0.018-0.027 cm²

5)汞接觸面積重復(fù)性: 1sigma <0.5%

詳情請聯(lián)系銷售部吳經(jīng)理15225822566