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類目 |
標(biāo)準(zhǔn)值 |
典型值 |
標(biāo)準(zhǔn)值 |
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晶型 / 尺寸 |
4H / 4或6英寸 |
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CMP晶面 |
(0001)Si晶面 |
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偏角 |
偏[11-20]4度 |
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導(dǎo)電性 |
n型 |
p型 |
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摻雜 |
氮 |
鋁 |
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載流子濃度 |
范圍 |
1E15~5E16 cm-3 |
1E15~5E16 cm-3 |
1E16 ~ 5E17 cm-3 |
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容忍度 |
±10% |
±9% |
±20% |
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均勻度 |
≤5% |
≤4% |
≤10% |
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厚度 |
范圍 |
＜20 μm |
＜20 μm |
＜20 μm |
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容忍度 |
±6% |
±5% |
±6% |
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均勻度 |
≤ 3% |
< 2% |
≤ 3% |
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表面缺陷密度 |
≤0.6 cm-2 |
≤0.5 cm-2 |
≤0.6 cm-2 |
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表面粗糙度 |
≤0.3 nm |
≤0.2 nm |
≤0.3 nm |
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注釋：
厚度及載流子濃度測試方法通常為9點(diǎn)（去邊=5mm)（如圖），客戶可指定測試方法。
①載流子濃度使用MCV測試儀進(jìn)行測量。
②厚度使用紅外光譜儀進(jìn)行測量。
③表面缺陷包含彗星缺陷、三角形缺陷、胡蘿卜缺陷以及掉落物。
④表面粗糙度使用原子力顯微鏡進(jìn)行測量，掃描尺寸為10×10 μm2。
*注：我司可根據(jù)客戶定制參數(shù)更嚴(yán)格的外延片。