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SiC晶圓觀察分析

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技術(shù)參數(shù):
1)最大分辨率370nm

2)復(fù)消色差光路,整體光路支持25mm視野直徑的大平臺顯微鏡

3)可實現(xiàn)明場、暗場、偏光、干涉和斜照明觀察方式

4)手動大尺寸載物臺,載物臺尺寸: 245*245mm,行程: 202*202mm

5)樣品尺寸:直徑≤150mm

6)物鏡放大倍數(shù):5X1

詳情請聯(lián)系銷售部吳經(jīng)理15225822566