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技術(shù)參數(shù):

1) 共聚焦系統(tǒng)：光斑大小為10um，分辨率10nm

2) 測量范圍：厚度200~1500um、Warp 0~200um、Bow -200um~200um、TTV 0~200um、LTV 0~200 μm

3) OCR讀碼功能：精度>99%

4) 掃描速度（6-inch）:<3.5分鐘/片(map圖掃描2mm間距采集)

5) 重復(fù)性:厚度±0.1 μm，Warp±0.5 μm，Bow±0.3 μm，TTV±0.5 μm，LTV±0.2 μm

6) 平臺運動行程：X=205mm，Y=205mm，Z=50mm