廣州粵升半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡稱“廣州粵升”）于2024年9月實(shí)現(xiàn)碳化硅（SiC）外延設(shè)備的大批量出貨，這象征廣州粵升在SiC設(shè)備領(lǐng)域邁向了新的征程。此批設(shè)備在第一代外延爐基礎(chǔ)上做了進(jìn)一步優(yōu)化設(shè)計(jì)，具備生產(chǎn)高質(zhì)量、高穩(wěn)定性的外延片生產(chǎn)能力，可充分滿足客戶對高性能材料的追求，為客戶在激烈的市場競爭中增添制勝砝碼。
廣州粵升自主研發(fā)的SiC外延設(shè)備，已在客戶端連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行近兩年，生長的SiC外延片質(zhì)量達(dá)到國際先進(jìn)水平，特別是能夠滿足厚膜以及3C晶型的外延要求。廣州粵升尤其注重對設(shè)備使用者的安全防護(hù)，其設(shè)備產(chǎn)品的電磁輻射值和噪音水平均處于國內(nèi)領(lǐng)先地位。同時(shí)，廣州粵升具備國內(nèi)頂級外延團(tuán)隊(duì)資源，可為客戶提供潔凈室規(guī)劃、特氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)建議以及外延工藝培訓(xùn)等一站式服務(wù)。
【關(guān)于廣州粵升】
廣州粵升成立于2021年，為東莞中科匯珠全資子公司，聚焦第三代半導(dǎo)體SiC產(chǎn)業(yè)鏈中的晶體生長和外延設(shè)備，以突破國外技術(shù)壟斷和封鎖為己任，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵核心裝備的國產(chǎn)化。2022年公司首臺SiC外延設(shè)備研發(fā)成功，2023年首批液相法SiC單晶爐完成研發(fā)并交付客戶；同時(shí)，廣州粵升已通過半導(dǎo)體行業(yè)SEMI S2國際認(rèn)證，以及ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證。廣州粵升持續(xù)秉持“追求卓越，成為全球一流的SiC設(shè)備供應(yīng)商”的宗旨，不斷探索，不斷突破，為半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)更堅(jiān)實(shí)力量。
